Elektronik semikonduktor
Produksi chip sirkuit terintegrasi membutuhkan peralatan yang sangat khusus yang dapat bekerja di berbagai lingkungan yang keras, seperti:
● Plasma di lingkungan vakum;
● Suhu tinggi;
● Kontak dengan cairan yang sangat abrasif;
● Paparan banyak bahan kimia yang sangat korosif.
Keuntungan
● Reproduksi materi yang tepat yang tersedia di mana saja di dunia
● Pemilihan material yang luas, kemampuan dukungan rekayasa dan pengujian
● Kemampuan pemesinan, mendukung pengembangan aplikasi NPI dari sistem simulasi
● Portofolio bahan terluas yang dirancang untuk alat proses basah
● Produsen bahan cincin CMP terkemuka di dunia, termasuk Techtron® PPS (Standar Global untuk Aplikasi CMP)
● Bahan yang digunakan dalam alat proses kering seperti ETCH, CVD dan Ion Imon untuk mengurangi biaya dan meningkatkan kinerja
Bahan umum
Acetal
Plastik anti-statis, disipatif, dan konduktif
CPVC
Fep
Tubing fluoropolymer
FR Polypropylene
Ectfe
Pvdf
NILON
MENGINTIP
PELIHARAAN
PFA
Pita polimida
PC
Polypropylene
PSU
PPS
Ptfe
Pei
Epoksi
Kain katun fenolik
Durosttone
FR4/G10
Bakelite
Kekuatan Bahan
Ø Nilai disipatif statis
Ø Resistensi kimia
Ø Generasi partikel rendah dalam aplikasi bantalan dan keausan
Ø Karakteristik outgassing rendah
Ø Level rendah dapat diekstraksi saat ditempatkan dalam bahan kimia kemurnian tinggi
Ø Kemampuan suhu tinggi
Ø Stabilitas dimensi
Aplikasi khas
Bantalan dan busing
Tangki kimia
Isolator listrik
Tubing fleksibel
Penjaga dan perisai
Cincin pemolesan
Putar chucks
Aplikasi kontrol statis
Soket uji
Komponen katup
Bagian penanganan wafer
Bangku basah dan stasiun kerja
Produk dan aplikasi
Aplikasi Produk Techtron®pps CMP Ring Semitron®CMP XL20 Ruang Reaksi Etsa dan CVD KETRON®1000 PEEK Transfer wafer Ertalyte®pet-p Struktur proses basah Duratron®pai Komponen proses basah, liner wadah kimia dan penyimpanan air HP